半導體元件參數量測系統

Semiconductor Parameter Analyzer

   本中心半導體元件參數量測系統（HP 4156）適用於半導體電子材料、奈米元件之電性量測，並且附加溫控系統做溫度調變，可用來分析材料之可靠度和電性機制。除此之外，整個系統可利用ICS量測軟體進行自動控制，能方便且迅速的量測。

     為了增加量測的精準性，本半導體元件參數量測系統可搭配CASCADE Microtech Probe Station(Summit系列)，並使用DCP-150R探針，具備低雜訊電性特性(fA-級電流與fF-級電容量測)。

系統規格：

Probe Station 詳細規格

Fig.1 半導體元件參數量測系統

Fig.2 量測結果

  Fig.3 -100 V ~ 100 V I-V特性

  Fig.4 CASCADE Microtech Probe Station(Summit系列)