光激發電子顯微鏡

Emission Microscope(EMMI)

        在分析半導體元件故障原因時，EMMI是非常靈敏的故障點定位工具。
本中心光激發電子顯微鏡機台是採用:日本Hamamatsu Phemos-1000 emission microscope機型，此設備能在短時間內找出電子元件之故障位置，並可縮短元件之特定方向或物理解析故障原因之分析時間，從而縮短製程與設計間的FEEDBACK時間，將可大幅提升電子元件或IC製程上之故障解析之效率。
除了EMMI本身提供的分析資訊以外，也可以搭配本中心之半導體元件參數分析系統(HP4156)輔助分析故障點，提升判斷元件故障原因的精準度。

        而EMMI故障點分析可依製程與漏電點位置初步判斷故障原因，也可搭配本中心之雙束型聚焦離子束與掃描式電子顯微鏡進一步分析故障點釐清故障原因。


      規格表：

  Fig.1 不同倍率漏電點分析 (a) 5x (b) 20x (c)&(d) 100x