掃描式電子顯微鏡
Scanning Electron Microscope
SEM是由電子槍(Electron Gun)透過熱游離或場發射原理產生高能電子束，經過幾組聚焦透鏡(Condenser Lens)的聚焦，並利用偏向線圈(Deflection Coils)偏折電子束，最後透過物鏡(Objective Lens)打在試片上。
在試片的側上方裝有偵測器，用以擷取二次電子(Secondary Electron)或背向散射電子(Backscattered Electron)，從而獲得樣品信息來成像，它能產生樣品表面的高解析度圖像，常被用來鑒定樣品的表面結構。
本中心SEM除了可觀察樣品形貌外，亦可配合能量散射光譜儀(EDS)的輔助來進行成份分析。
Fig.1 SEM主體外觀
Fig.2 規格表
Fig.3 表面形貌分析與量測