半導體電容電壓量測系統

Semiconductor C/V Analysis System

   本中心C-V量測採用由Keithly的System 82-WIN 提供C-V量測，高低頻的C-V量測可以同時在一個電壓
掃描中執行。Keithly特殊的同步技術可以改善C-V量測的準確度。這個技術減少多次量測，理論圖形及參
數濃度假設的需要。同步C-V測量搭配整合好的I-V系統能提供廣泛的附加好處。此同步量測方法減去元件因第一次和第二次電壓掃瞄造成元件特性改變所產生的誤差。此種方法也可以減去圖形曲線因不同因素造成漂移而產生的錯誤。在自動化測試中使用這種方法不但可以增加產能也可以減低硬體和軟體整合上的問題。

      為了增加量測的精準性，本半導體元件參數量測系統可搭配CASCADE Microtech Probe Station(Summit系列)，並使用DCP-150R探針，具備低雜訊電性特性(fA-級電流與fF-級電容量測)

系統規格：

硬體-

          (1) 590 C-V Analyzer

          (2) 595 C-V Quasi Meter

          (3) 230 Voltage Source

軟體-

           Agilent ICS

主要量測範圍：

       Simultaneous HF-QF（高低頻）C-V（電容電壓）的量測，可決定介質層相關的參數，如Dit，厚度，摻雜濃度等。

 Fig. 1 半導體電容電壓量測系統

  Fig. 2 100K Hz量測結果DEMO